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凌云光×JAI亮相無錫,展示全波段成像檢測方案,助力“芯”質(zhì)生產(chǎn)力
點(diǎn)擊次數(shù):2380 更新時間:2026-09-08

9月2日,第十四屆半導(dǎo)體設(shè)備材料與核心部件展(CSEAC 2026)在無錫太湖國際博覽中心落下帷幕。凌云光攜手工業(yè)相機(jī)品牌JAI受邀聯(lián)合參展,以 以光為眼,為芯把關(guān)" 為主題,展出了面向半導(dǎo)體關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)的多款成像檢測方案。為期三天的展期中,展臺吸引了眾多芯片制造、封測及設(shè)備企業(yè)的專業(yè)觀眾到訪交流。


凌云光×JAI亮相無錫,展示全波段成像檢測方案,助力“芯









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紅外成像解決方案 | 晶圓引導(dǎo)切割道檢測


本次展出的JAI紅外面陣成像解決方案是展臺重點(diǎn)之一。該方案針對半導(dǎo)體晶圓切割等工藝場景設(shè)計,利用短波紅外波段對硅材質(zhì)的穿透性,可實現(xiàn)硅片內(nèi)部結(jié)構(gòu)的“透視"檢測。


方案由短波紅外面陣相機(jī)、短波紅外遠(yuǎn)心鏡頭及Revox短波紅外LED光纖照明光源組成,相機(jī)采用InGaAs芯片,覆蓋400-1700nm寬光譜,可穿透硅片表面,探測內(nèi)部結(jié)構(gòu),適用于半導(dǎo)體行業(yè)中晶圓引導(dǎo)切割、Mark點(diǎn)定位和激光打孔等檢測。


凌云光×JAI亮相無錫,展示全波段成像檢測方案,助力“芯


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線陣成像解決方案 | 引線框架高速檢測


凌云光×JAI亮相無錫,展示全波段成像檢測方案,助力“芯


半導(dǎo)體16K高速高分辨檢測方案,由JAI 16K分辨率、5μm像元的高速線陣相機(jī),搭配施耐德鏡頭與Revox高亮光源組成。277kHz最高行頻與1億勒克斯超高亮度光源配合,面向半導(dǎo)體行業(yè)的大幅寬、高精度外觀檢測需求,可在保證圖像質(zhì)量的同時提升檢測效率。


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多款前沿產(chǎn)品亮相 | 覆蓋半導(dǎo)體多元檢測場景


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展臺還展示了半導(dǎo)體照明激光驅(qū)動等離子體光源(LDLS)、Revox超亮光纖可見光光源、JAI真彩色棱鏡相機(jī)、JAI紫外面陣相機(jī)及PCO紫外高靈敏相機(jī)等產(chǎn)品,覆蓋了從可見光到紫外、紅外的寬光譜范圍,可適配半導(dǎo)體掩膜版制版、晶圓鍵合、引導(dǎo)切割等不同工藝節(jié)點(diǎn)的檢測需求。




本次參展是凌云光與JAI在半導(dǎo)體成像檢測領(lǐng)域的一次集中亮相。凌云光將繼續(xù)圍繞“以光為眼,為芯把關(guān)"的方向,推進(jìn)產(chǎn)品方案在半導(dǎo)體產(chǎn)線的實際落地,助力提升國產(chǎn)制造的良率與效率。



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